整整三天时间，燧石研究院全体放假，名义是准备迎接精密仪器和机械专项科研计划的成果验收，提前放个假，回来有得忙。</p>
实际上，在赵鸿涛安排人看护住顾松所在的这一大间实验室之后，里面就只有顾松一个人。</p>
赵鸿涛也不知道顾松在里面搞什么，他也不问，只按时给顾松把吃的送过去。</p>
这枚芯片，就纯粹是耗费时间。</p>
啥都得自己动手去操作仪器，光是掩模板的制作，就花了一整天的时间。</p>
顾松休息了一晚养精蓄锐，第二天早上起来正式开工。</p>
曝光的每一步的参数，都是推算好的。光把这些参数设置进去，就花了顾松小半天时间。</p>
在正式开工之前，又花了近两个小时，才匀胶烘好一片合乎要求的8寸晶圆。</p>
将掩模板和晶圆放好，对准又花了将近半个小时，确认一切参数都没问题，顾松才开始按下开始键，等待曝光完成。</p>
曝光的时间倒是很快，就不知道效果怎么样。</p>
显影完之后，顾松先是检查。</p>
在开启“专注运算”模式之后，都花了有将近1个小时的时间，才初步确认，觉得应该没什么问题。</p>
硬烘、刻蚀，最后去除光刻胶，才得到这块巴掌大的芯片。</p>
虽然有巴掌大，但它的制程却并不低。</p>
没办法，现在没有先进的工艺设备能制作基于纳米碳材料的下一代立体网络芯片。在现在这种硅基半导体工艺思路下，只能用简化版做出来，实现基本的功能。</p>
他赶紧把这块芯片拿过去进行测试，看看有没有问题。</p>
现在这是裸片测试，测试用的probe card又得做些重新的设置，然后才能先看这枚芯片有没有问题。</p>
测试结果一出来，顾松就觉得心塞。</p>
一片晶圆上，一次性做的四枚芯片，全都有问题。</p>
裸片测试都没过，也就不用封装了。</p>
他坐在椅子上叹了一口气，看看外面已经黑下去的天色，一天时间，白费了。</p>
参数设置是没问题的，也不知道是对准精度不够，还是显影出了问题。</p>
他让赵鸿涛把饭送过来，一边继续匀胶、前烘，准备继续。</p>
这特么杠上了！</p>
……</p>
赵鸿涛一直守到第第二天快午饭，才见顾松从里面出来。</p>
他一看老板的样子，吓了一跳：“一晚上没睡？我看你没叫我送早餐，以为你还没起来。”</p>
顾松神情疲惫，眼睛很酸涩。</p>
搞到第三遍，才确认由于机械精度的误差，参数需要稍微调整。</p>
好在有了三次的数据，“谢小宝”倒是很快把更准确的参数提供了出来。</p>
第四遍就到位了，一次成功，虽然四枚芯片里也有两枚是废的。</p>
把两枚好的芯片封装好，又测试了一下确定没什么问题，顾松把机器里的参数重置好，把记录删除，把掩模板销毁，才从里面出来。</p>
“回香山别院。”顾松交代了一声，上车就靠在椅背上开始睡觉。</p>
车在路上开了近一个小时，赵鸿涛把他喊醒：“要吃点东西啊。”</p>
顾松摆摆手：“你别管我了，我先吃几片面包对付一下，困死了。”</p>